氢气检漏法的基本原理

氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。真空设备检漏设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(ISO10156国际标准)，无毒性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素，有着很多的优点。

氢的分子量与氦气相近，是所有化学元素中分子量较轻的元素，有很好的扩散性，逃逸性很强，吸附及粘滞性很低。由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。真空设备检漏检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧，用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质，从而达到检测的目的。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器，它只对氢气有响应信号，而对其他气体没有响应，属于唯1性检漏性检漏方法。一旦出现信号响应，说明有氢气通过漏孔进入被检件中，从而指示漏孔的位置与大小。同时，由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低，所以不会因本底污染而导致误报警。

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真空设备检漏

检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧，用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质，从而达到检测的目的。真空设备检漏氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。

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如何判断真空系统是否存在漏气，通常采用静态升压法，即把容器抽到一定压强后，关闭阀门将被抽容器与泵隔开，若容器漏气或材料放气，容器中的压强将随时间而上升。一旦出现信号响应，说明有氢气通过漏孔进入被检件中，从而指示漏孔的位置与大小。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强，可得出压强/时间曲线。由于容器的漏气与出气情况不同，其曲线也不同

1.直线A

压强不随时间变化，说明系统即不漏气，也不放气。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直线B

压强期初上升很快，而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡，这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低，故曲线渐趋向于平衡。

3.直线C

是一斜率为ΔP/Δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。

4.曲线D

开始压强上升较快，而后渐渐减慢，后变成斜率为ΔP/Δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线D可以认为是B和C的叠加。如果出现曲线C和D的情况，则判定系统有漏气。